Газодинамические аспекты работы криовакуумного насоса в вязкостном режиме течения газа

УДК 621.521

Газодинамические аспекты работы криовакуумного насоса в вязкостном режиме течения газа

Иванов В.И.


Аннотация
Когда криовакуумный насос работает в вязкостном режиме, то наблюдается направленное движение газа к криопанели. Предлагаемая в статье процедура вычисления позволяет определять скорость накачанного потока газа перед криопанелью в зависимости от коэффициента его захвата и затем вычислять скорость перекачки.

Ключевые слова: криовакуумный насос, молекула газа, жидкий азот, скорость откачки.


Читать статью полностью