Специфика работы криоадсорбционного вакуумного насоса в импульсном режиме

Аннотация
Процесс откачки криоадсорбционным насосом потока разреженного газа при давлениях выше 102 Па имеет определенную специфику. Лимитирующим фактором процесса является не скорость диффузии молекул откачиваемого газа в порах адсорбента, а разогрев последнего в результате выделения теплоты сорбции. Низкая теплопроводность слоя из гранул адсорбента снижает интенсивность отвода теплоты к криопанели. Изменение распределения температуры в слое адсорбента предложено находить методом конечных разностей путем временной итерации. Слой рассматривался как неограниченная пластина, термостатированная с одной стороны криопанелью и имеющая внутренние распределенные источники теплоты. Показано, что определив темп роста градиента температуры в слое сорбента, можно предсказать скорость падения производительности криоадсорбционного вакуумного насоса. При этом учитывалось влияние изменяющихся во времени локальных температур на скорость откачки элементарных слоев и, соответственно, на мощность тепловыделений в них.