Газодинамические аспекты работы криовакуумного насоса в вязкостном режиме течения газа
УДК 621.521
Иванов В.И.
Аннотация
Когда криовакуумный насос работает в вязкостном режиме, то наблюдается направленное движение газа к криопанели. Предлагаемая в статье процедура вычисления позволяет определять скорость накачанного потока газа перед криопанелью в зависимости от коэффициента его захвата и затем вычислять скорость перекачки.
Ключевые слова: криовакуумный насос, молекула газа, жидкий азот, скорость откачки.
Газодинамические аспекты работы криовакуумного насоса в вязкостном режиме течения газа
Аннотация
Когда криовакуумный насос работает в вязкостном режиме, то наблюдается направленное движение газа к криопанели. Предлагаемая в статье процедура вычисления позволяет определять скорость накачанного потока газа перед криопанелью в зависимости от коэффициента его захвата и затем вычислять скорость перекачки.
Ключевые слова: криовакуумный насос, молекула газа, жидкий азот, скорость откачки.
English
Русский
